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二手多晶硅长晶炉回收+宿迁沭阳涡轮分子泵回收物流/提货派送

文章来源:shxj365 发布时间:2024-04-29 21:25:24


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具有自主知识 5-JN)TDR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权,是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的专用设备。装料量从95Kg~150Kg,可拉制6"~12"电路级和太阳能级单晶硅棒。

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存在问题该单晶炉二次增料装置存在主要问题如下: (1)、卡料:由于硅料之间、硅料与装置内部的部件之间存在摩擦力,落料时,硅料容易卡壳,甚硅料卡住拉杆1,致使其底部锥面与外筒5之间不能形成间隙,块状硅料不能实现下落;(2)、污染:硅料在实现落料的过程中,拉杆1底部锥面会被下面熔融硅料(单晶炉内)的高温所氧化而污染硅料,从而影响拉晶工艺或硅棒质量等缺点。5其特征在于所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。7,根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流导向装置(20)由石墨制成。其包括中轴孔,一对电极孔,以及与排气口相对的通气孔,石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通。本发明了一种直拉式单晶生长炉氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa。