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2，海拔高度：不超过1000m，3，湿度相对湿度：日平均值不大于95%，月平均不大于90%，饱和蒸气压：日平均值不在于2.2×10 Mpa，月平均不大于1.8×10 Mpa，4，地震烈度不超过8度，5，周围空气应不受腐蚀性，可燃气体，水蒸气等明显污染，6，无经常性的剧烈震动。当关柜使用条件超出以上规定，由用户与厂协商确定。

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单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1　引　言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2～10.0)mm/h内无级调节，它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统，并在实际生产中获得成功应用。2　设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。(1)减少了上反射屏上挥发物的沉积，延长了观察的时间；